Sensor de vácuo de Pirani - F6000

Descrição do produto do sensor de vácuo de Pirani F6000

A série F6000 de sensores de vácuo de Pirani MEMS oferece uma solução inovadora de medição de vácuo. Este sensor é extremamente pequeno, com baixíssimo consumo de energia, longa vida útil, baixa manutenção em campo e baixo custo.

Com base no princípio de que a condutividade térmica do gás é proporcional à pressão na faixa de vácuo baixo, a série F6000 mede as pequenas mudanças de resistência no elemento de aquecimento devido à transferência de calor para o gás circundante.
O elemento de aquecimento (resistência de medição) é composto por uma resistência de filme fino de platina sobre uma membrana de isolamento térmico. A membrana é suspensa sobre uma cavidade micro-usinada de 25 µm de profundidade, com a superfície inferior paralela à membrana para garantir medição precisa da taxa de transferência de calor. Devido ao volume extremamente pequeno do gás medido (volume da cavidade), o sensor oferece baixíssimo consumo de energia e tempo de resposta rápido.
A série F6000 também inclui uma resistência de referência com o mesmo coeficiente de temperatura de resistência (TCR) da resistência de medição, localizada no substrato do chip do sensor. O circuito do sensor pode usá-la para compensação de temperatura ambiente.

Devido às vantagens de alta confiabilidade, baixo custo, facilidade de uso e baixíssimo consumo de energia, a tecnologia Pirani miniaturizada usando processo MEMS está se tornando um padrão da indústria. A série F6000 de sensores de vácuo de Pirani MEMS pode ajudar os clientes a aproveitar essa tendência para melhorar seus produtos existentes e desenvolver novos produtos.

Sensor de vácuo de Pirani F6000Classificações máximas absolutas:
Temperatura de operação: -40 °C a 125 °C (modelos de temperatura mais alta disponíveis)
Umidade: 0 a 100% RH, sem condensação
Resistência a impacto: 1000g
Sobrepressão: 27,5 Bar

Sensor de vácuo de Pirani F6000Características do sensor

Baixíssimo consumo de energia <5 mW
Tempo de resposta rápido <5 ms
Resistência a impacto até 1000g
Volume de gás mensurável mínimo de 0,1 cm³
Baixo ruído
Alta resolução
Sensor de temperatura no mesmo chip
Estabilidade de longo prazo
Limpeza por imersão em solvente para prolongar a vida útil

Sensor de vácuo de Pirani F6000Principais aplicações

Instrumentos analíticos
Detecção de vazamentos em sistemas fechados com vácuo primário
Equipamentos semicondutores
Máquinas de embalagem a vácuo
Vacuômetros digitais portáteis
Pequenos sistemas mecânicos (como bombas) para atingir vácuo especificado
Interruptores de vácuo de baixo custo para verificar vácuo abaixo de 1 Torr