Sensor de vacío Pirani - F6000

Descripción del sensor de vacío Pirani F6000

La serie F6000 de sensores de vacío Pirani MEMS ofrece una solución innovadora para la medición de vacío. Este sensor es de tamaño reducido, con consumo de energía ultrabajo, larga vida útil, bajo mantenimiento en campo y bajo costo.

Según el principio de que la conductividad térmica del gas es proporcional a la presión en el rango de vacío bajo, la serie F6000 mide los cambios sutiles en la resistencia del elemento calefactor debido a la transferencia de calor al gas circundante.
El elemento calefactor (resistencia de medición) está compuesto por una resistencia de película delgada de platino sobre una membrana aislante. La membrana está suspendida sobre una cavidad micro-mecanizada de 25 µm de profundidad, con la superficie inferior paralela a la membrana para garantizar una medición precisa de la transferencia de calor. Debido al volumen extremadamente pequeño del gas medido (volumen de la cavidad), el sensor ofrece consumo de energía ultrabajo y tiempo de respuesta rápido.
La serie F6000 también incluye una resistencia de referencia con el mismo coeficiente de temperatura de resistencia (TCR) que la resistencia de medición, ubicada en el sustrato del chip del sensor. El circuito del sensor puede usarla para compensación de temperatura ambiente.

Debido a sus ventajas de alta confiabilidad, bajo costo, facilidad de uso y consumo de energía ultrabajo, la tecnología Pirani miniaturizada mediante procesos MEMS se está convirtiendo en un estándar de la industria. La serie F6000 de sensores de vacío Pirani MEMS puede ayudar a los clientes a aprovechar esta tendencia para mejorar sus productos existentes y desarrollar nuevos productos.

Sensor de vacío Pirani F6000Clasificaciones máximas absolutas:
Temperatura de operación: -40 °C a 125 °C (disponible modelo de mayor temperatura)
Humedad: 0 a 100 % HR, sin condensación
Resistencia a impactos: 1000 g
Sobrepresión: 27.5 bar

Sensor de vacío Pirani F6000Características del sensor

Consumo de energía ultrabajo <5 mW
Tiempo de respuesta rápido <5 ms
Resistencia a impactos hasta 1000 g
Volumen de gas medible mínimo de 0.1 cm³
Bajo ruido
Alta resolución
Detección de temperatura en el mismo chip
Estabilidad a largo plazo
Limpieza por inmersión en solvente para prolongar la vida útil

Sensor de vacío Pirani F6000Aplicaciones principales

Instrumentos analíticos
Detección de fugas en sistemas cerrados con vacío previo
Equipos semiconductores
Máquinas de envasado al vacío
Vacuómetros digitales portátiles
Sistemas mecánicos pequeños (como bombas) para alcanzar un vacío especificado
Interruptores de vacío de bajo costo para verificar vacío por debajo de 1 Torr