제품 소개
피라니 진공 센서 F6000 제품 설명
F6000 시리즈 MEMS 피라니 진공 센서는 획기적인 진공 측정 솔루션을 제공합니다. 이 센서는 초소형 크기이면서도 초저전력, 긴 수명, 낮은 현장 유지보수, 낮은 비용의 장점을 가지고 있습니다.
'가스 열전도 계수와 저진공 범위 압력이 비례한다'는 원리에 따라 F6000 시리즈 진공 센서는 가열 요소에서 주변 가스로의 열 전달로 인한 미세한 저항 변화를 측정합니다.이 가열 요소(즉, 측정 저항)는 단열막 위에 배치된 백금 박막 저항으로 구성됩니다. 단열막은 미세 가공된 25μm 깊이의 캐비티 위에 떠 있으며, 캐비티 바닥 표면은 단열막과 평행하여 정밀한 열 전달률 측정을 보장합니다. 측정되는 가스 부피가 극히 작기 때문에(즉, 캐비티 부피가 작음) Weisheng 센서는 초저전력과 빠른 응답 시간을 제공할 수 있습니다.
F6000 시리즈 진공 센서는 또한 측정 저항과 동일한 저항 온도 계수(TCR)를 갖는 기준 저항을 센서 칩 기판에 배치합니다. 센서 회로는 이를 사용하여 환경 온도 보상을 수행할 수 있습니다.
높은 신뢰성, 낮은 비용, 간편한 사용 및 초저전력의 장점으로 인해 MEMS 공정으로 가공된 소형화된 피라니 기술은 업계 표준이 되고 있습니다. F6000 시리즈 MEMS 피라니 진공 센서는 고객이 이러한 추세를 활용하여 기존 제품을 개선하고 새로운 제품을 개발하는 데 도움을 줄 수 있습니다.
작동 온도: -40°C ~ 125°C (더 높은 온도 모델 제공 가능)
습도: 0 ~ 100% RH, 비응축
내충격성: 1000g
과압: 27.5 Bar
피라니 진공 센서 F6000센서 특징
초저전력 <5mW빠른 응답 시간 <5ms
1000g까지 내충격
측정 가능한 가스 부피 최소 0.1cm³
저소음
고해상도
동일 칩에서 온도 감지
장기 안정성
용제 침지 세척 가능, 수명 연장
피라니 진공 센서 F6000주요 응용 분야
분석 기기전단계 진공을 사용하는 밀폐 시스템의 누출 감지
반도체 장비
진공 포장기
휴대용 디지털 진공계
소형 기계 시스템(예: 펌프)의 규정 진공도 달성
1Torr 이하의 진공도 검증을 위한 저비용 진공 스위치
